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            半自動勻膠機

            簡要描述:全新外觀設計,適配實驗室實驗操作
            半導體顯影機
            *進的設計理念,模塊化設計
            可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
            支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
            可實現不同功能模塊的自由組合定制
            配載精密的運動控制系統,提高實驗精度及重復性

            • 產品型號:AC200-CTM
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新日期:2024-08-06
            • 訪  問  量:2353

            產品特點

            全新外觀設計,適配實驗室實驗操作

            *進的設計理念,模塊化設計

            可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷

            支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

            可實現不同功能模塊的自由組合定制

            配載精密的運動控制系統,提高實驗精度及重復性


            產品參數

            轉速范圍:20-10000rpm

            轉速分辨率:±1rpm

            加速度可調范圍:20-50000rpm/s

            單步時長:3000s

            時間分辨率:0.1s

            適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤

            顯影噴嘴距離基片高度可調,可調范圍10-50mm

            可添加背洗功能(根據客戶需求而定)




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